易安爱富（武汉）科技申请铜蚀刻液组合物及其制备方法专利，能保持优异蚀刻性能

金融界 2025 年 5 月 2 日消息，国家知识产权局信息显示，易安爱富（武汉）科技有限公司申请一项名为“一种铜蚀刻液组合物及其制备方法”的专利，公开号 CN119876956A，申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示，本发明提出了一种铜蚀刻液组合物及其制备方法，涉及湿法蚀刻技术领域。该铜蚀刻液按质量百分比计，包括以下原料：双氧水 8～20％，无机物 0.5～2.5％，缓蚀剂 0.05～2％，清除剂 0.5～5％和络合剂 0.5～5％，余量为去离子水；所述无机物选自无机酸和/或无机盐。本发明提供的铜蚀刻液组合物在刻蚀过程中能够显著减缓过氧化氢的分解，从而保持优异的蚀刻性能。通过精确调控，本发明的铜蚀刻液组合物不仅确保了理想的蚀刻锥角和 CD loss 变化量，而且避免了 tail 的产生，确保基板表面干净无残留。

天眼查资料显示，易安爱富（武汉）科技有限公司，成立于2010年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本350万美元。通过天眼查大数据分析，易安爱富（武汉）科技有限公司专利信息39条，此外企业还拥有行政许可10个。

本文源自：金融界

作者：情报员