突破日本垄断, 国产28nm光刻胶, 早已量产了

很多人以为,有了先进光刻机,我们就能够制造出先进芯片了,我们最大的困难还是光刻机,特别是EUV光刻机。

但其实,芯片制造,其实是一个系统性产业,它需要几百种设备,几百材料,几百道工序,这些设备、材料,工序,都是与工艺相关的。

比如光刻机有g线、i线、KrF、ArF和EUV五类,刻蚀机同样也有精度要求,还有光罩,光刻胶等,也同样有分类。

只搞定了光刻机,没有光罩怎么办?没有光刻胶怎么办?

特别是光刻胶,日本垄断了全球70%以上的市场份额,国产化率还不到10%,90%依赖进口,EUV光刻机的国产率为0,就算有了EUV光刻机,没有EUV光刻胶,一样制造不出尖端芯片来。

也正因为如此,所以国内的厂商们,一直在不同的领域突破,以期达到国际顶尖水平。如今在刻蚀机上,我们突破了3nm,而在光刻胶上,我们也突破了28nm。

光刻胶,其实与光刻机一样,也是分为g线、i线、KrF、ArF和EUV这么5类,不能乱用,不能混用,也是一一对应关系的,具体的工艺对应如下图。

以前国内一直处于KrF阶段,也就是130nm+之上,但如今国产厂商南大光电,早已经突破到了ArF光刻胶,也是国内唯一实现28nm制程Arf光刻胶量产的企业,并通过客户验证,并不是停留在PPT上的。

虽然28nm,与日本企业的EUV光刻胶,能用于2nm芯片制造有差距,但没有28nm,哪来的2nm,路是一步一步走的嘛。

前面我提到过,芯片制造其实是一个系统工程,并不是只有光刻机,还有各种材料,各种设备,各种技术,大家必须协同形成一个整理。

仅有光刻机突破不行,仅有光刻胶突破也不行,如果要想实现自主可控,必须每一样都突破,这是一个比制造原子弹还复杂的系统工程,但只要我们的企业,一步一步的努力,从不同的领域实现突破,那么未来就肯定能够实现100%自主可控,完全不担心被卡脖子,所以我们需要更多的企业,大家一起努力。